| 发明名称 |
MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11317393(A) |
申请公布日期 |
1999.11.16 |
| 申请号 |
JP19990053121 |
申请日期 |
1999.03.01 |
| 申请人 |
LUCENT TECHNOL INC |
发明人 |
BITTING DONALD STEPHEN;ESRY THOMAS CRAIG;HUIBREGTSE DAVID;WHEELER PAUL EDWARD |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/00;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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