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发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Halbleiterstruktur mit Kornelementen für einen Kondensator einer Speicherzelle
摘要
申请公布号 DE102004002242(B4) 申请公布日期 2008.03.20
申请号 DE200410002242 申请日期 2004.01.15
申请人 QIMONDA AG 发明人 HECHT, THOMAS;FOERSTER, MATTHIAS;BIRNER, ALBERT;ORTH, ANDREAS;STADTMUELLER, MICHAEL
分类号 H01L21/8239;H01L21/8242;H01L21/334;H01L21/8229;H01L29/94 主分类号 H01L21/8239
代理机构 代理人
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