回收与再利用晶圆之方法

摘要

本案系为一种回收与再利用晶圆之方法，包括回收已使用的晶圆的方法、制造挡片或控片的方法、再利用晶圆于改善制程品质的方法等等。本案的晶圆可用于挡片，以促进制程品质。本案之方法可增加晶圆使用次数，降低晶圆报废成本。