除去及/或防止探针表面污染之方法及装置

摘要

为了除去及／或防止一探针之污染，将探针的至少一部份置放于一具有入通道及出通道的腔室中，且以探针的一末端延伸通过该出通道，并停在其相对于腔室的一侧置放。使得一气体经由入通道流入，且由出通道流出腔室，藉以更改一围绕探针末端的环境。可在引入前先加热气体。