| 摘要 |
マイクロ波生成源、誘電プラズマトーチ及び液滴作製装置を含有するマイクロ波プラズマ実施形態を使用して、高速熱分解処理によって、溶液前駆体液滴から多相複合材料を直接製造する方法が開示されている。ここでは均質溶液前駆体を使用して、液滴は狭い粒径分布で生成され、概して均一な熱経路によってマイクロ波プラズマトーチ中に噴射及び導入される。トーチ内での概して均一な熱経路は、軸対称高温域への液滴の層流での軸方向の噴射によって実現される。プラズマ内で、制御された滞留時間で高温に暴露されるときに、液滴は熱分解されて、ガスチャンバ内の制御された速度の排出ガスを用いてクエンチさせることによって、粒子に変換される。生成された粒子は概して、均一粒径及び均一熱履歴を有し、多種多様の用途に使用できる。 |
