发明名称 QUARTZ GLASS CRUCIBLE AND STRAIN MEASUREMENT DEVICE THEREFOR
摘要 석영 유리 도가니 전체의 왜곡 분포를 비파괴로 측정한다. 왜곡 측정 장치는, 석영 유리 도가니(1)에 그 외측에서 투광하는 광원(11)과, 광원(11)과 석영 유리 도가니(1)의 벽체의 외표면과의 사이에 배치된 제1의 편광판(12) 및 제1의 1/4파장판(13)과, 석영 유리 도가니(1)의 내측에 배치된 카메라(14)와, 카메라(14)의 촬영 방향을 제어하는 카메라 제어 기구(15)와, 카메라(14)와 석영 유리 도가니(1)의 벽체의 내표면과의 사이에 배치된 제2의 편광판(16) 및 제2의 1/4 파장판(17)을 구비한다. 제2의 1/4 파장판(17)의 광학축은 제1의 1/4 파장판(13)의 광학축에 대하여 90도 기울어져 있다. 카메라(14)는, 광원(11)으로부터 투광되어, 제1의 편광판(12), 제1의 1/4 파장판(13), 석영 유리 도가니(1)의 벽체, 제2의 1/4 파장판(17) 및 제2의 편광판(16)을 통과한 빛을 촬영한다.
申请公布号 KR20160094390(A) 申请公布日期 2016.08.09
申请号 KR20167017298 申请日期 2014.12.25
申请人 SUMCO CORPORATION 发明人 SUDO TOSHIAKI;SATO TADAHIRO;KITAHARA KEN;KITAHARA ERIKO
分类号 G01N21/23;C30B15/10;C30B29/06;G01L1/24;G01L5/00 主分类号 G01N21/23
代理机构 代理人
主权项
地址