圆筒形溅射靶及其制造方法

摘要

容易且可靠地接合圆筒形靶材和衬管，防止圆筒形溅射靶的破损并提高使用效率。通过空塞子(60)封闭衬管(40)的一端部而作为密封端部(42)，使熔融状态的接合材料(30)存留于可插入设置在接合材料填充夹具(70)上的衬管的横截面大致呈圆形的凹状的接合材料保持部(72)，将密封端部(42)朝下方的衬管(40)隔开间隙(g)而插入到载置于接合材料填充夹具(72)上的靶材(20)的内部，并通过该靶材(20)而插入到接合材料保持部(72)，从而，将熔融状态的接合材料(30)从接合材料保持部(72)压出，填充到靶材(20)的内周面与衬管(40)的外周面之间的间隙(g)之后使其固化，并从接合材料填充夹具(70)卸下，除去空塞子(60)。

主权项

一种圆筒形溅射靶的制造方法，通过接合材料而接合圆筒形衬管的外周面和圆筒形靶材的内周面来制造圆筒形溅射靶，该方法的特征在于，将所述圆筒形衬管的一端部通过塞子进行封闭而作为密封端部，在横截面大致呈圆形的凹状接合材料保持部存留有熔融状态的接合材料，所述接合材料保持部中能够插入被设置于接合材料填充夹具的所述圆筒形衬管，将所述密封端部朝下方的所述圆筒形衬管，隔开间隙地插入到所述接合材料填充夹具所载置的所述圆筒形靶材的内部，并通过该圆筒形靶材而插入到所述接合材料保持部，由此，将熔融状态的所述接合材料从所述接合材料保持部压出，填充到所述圆筒形靶材的所述内周面与所述圆筒形衬管的所述外周面之间的所述间隙后使其固化，并从所述接合材料填充夹具卸下，除去所述塞子。