SUPPORT APPARATUS LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
리소그래피 장치에 대한 지지 장치(60)는 대상물 홀더 및 대상물 홀더의 반경방향 바깥쪽에 있는 추출 몸체(65)를 포함한다. 대상물 홀더는 대상물(W)을 지지하도록 구성된다. 추출 몸체는 지지 장치의 최상면으로부터 유체를 추출하도록 구성된 추출 개구부(66)를 포함한다. 추출 몸체는 추출 몸체가 실질적으로 대상물 홀더로부터 디커플링되도록 대상물 홀더로부터 이격된다. 추출 몸체는 대상물 홀더를 둘러싸도록 구성된 돌출부(30)를 포함하여, 사용 시 액체 층(32)이 돌출부 상에 유지되고 대상물 홀더 상에 지지된 대상물과 접촉하도록 한다.
申请公布号
KR101671787(B1)
申请公布日期
2016.11.02
申请号
KR20147036615
申请日期
2013.05.17
申请人
에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
发明人
돈더스, 쇼에르트 니콜라스 람베르투스;피엔, 메노;후겐담, 크리스티안 알렉산더;호우벤, 마틴;야콥스, 요한네스 헨리쿠스 빌헬무스;코에보에츠, 아드리아누스 헨드릭;라파레, 레이몬드 빌헬무스 루이스;오베르캄프, 짐 빈센트;텐 카테, 니콜라스;베스터라켄, 얀 스티븐 크리스티안;데 그루트, 안토니우스 프란시스쿠스 요한네스;반 베이넘, 마르텐
