Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung, Probenbilderfassungsverfahren und Programmaufzeichnungsmedium

摘要

Diese mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung ist mit einer Datenverarbeitungseinheit versehen, welche aus einem Detektorsignal die Wirkung entfernt, welche die Streuung eines Strahls primärer geladener Teilchen auf die Fleckform des Strahls primärer geladener Teilchen hat, bevor der Strahl primärer geladener Teilchen eine Probe erreicht. Wenn beispielsweise ein Elektronenmikroskop zur Betrachtung einer Probe (6) in einer Nichtvakuumatmosphäre verwendet wird, wird die Wirkung der Streuung eines Strahls primärer geladener Teilchen infolge eines Barrierefilms (10) oder eines im Nichtvakuumraum (12) vorhandenen Gases auf die Fleckform des Strahls primärer geladener Teilchen aus einem durch einen Detektor erfassten Signal entfernt. Dies macht es einfach, Bilder hoher Qualität zu erhalten.