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发明名称
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摘要
申请公布号
JPH06330348(A)
申请公布日期
1994.11.29
申请号
JP19930120062
申请日期
1993.05.21
申请人
RIKEN CORP
发明人
JIYOOJI UORUFU;HASEI SEIJI
分类号
C23C14/06;C23C26/00;(IPC1-7):C23C26/00
主分类号
C23C14/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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