| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN SILICA FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06330326(A) |
申请公布日期 |
1994.11.29 |
| 申请号 |
JP19930339522 |
申请日期 |
1993.12.03 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
KOINUMA HIDEOMI;MOTOMIYA TATSUHIKO;HAYASHIDA AKIRA |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/50;C23C16/513;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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