SPUTTERING TARGET FOR FORMING DIELECTRIC BODY THIN FILM,申请号JP19930120120-传众专利搜索

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发明名称	SPUTTERING TARGET FOR FORMING DIELECTRIC BODY THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH06330297(A)	申请公布日期	1994.11.29
申请号	JP19930120120	申请日期	1993.05.21
申请人	VACUUM METALLURGICAL CO LTD	发明人	KODERA MASAHIRO;NOZAWA YOSHIHARU;AZUMAGUCHI YASUHIRO;MIZUTANI RYUICHI;IWAMOTO HIDEO;OIWA NOBUTA
分类号	C23C14/08;C23C14/34;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34	主分类号	C23C14/08
代理机构		代理人
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