| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING OXIDE FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06252131(A) |
申请公布日期 |
1994.09.09 |
| 申请号 |
JP19930039120 |
申请日期 |
1993.02.26 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN;SUGIMURA HIROYUKI |
发明人 |
SUGIMURA HIROYUKI |
| 分类号 |
H01L21/316;B82B3/00;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
