| 发明名称 | 贮氢合金薄膜的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及贮氢材料的制备。采用双源离子束溅射法制备贮氢合金薄膜，可用于镍-氢电池的负极，具有放电容量大、抗粉化能力强、循环寿命长等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN1026999C | 申请公布日期 | 1994.12.14 |
| 申请号 | CN90106043.7 | 申请日期 | 1990.12.24 |
| 申请人 | 南开大学 | 发明人 | 张允什;王达;雷宗保;张大昕;袁华堂;胡伟康 |
| 分类号 | C23C14/46;C23C14/14;C01B3/00;H01M4/00 | 主分类号 | C23C14/46 |
| 代理机构 | 南开大学专利事务所 | 代理人 | 赵尊生 |
| 主权项 | 1.一种制备钛镍贮氢合金薄膜的方法，其特征在于它包括以下步骤：(1)将钛、镍金属分放在可旋转的四I位靶上；(2)镍金属片或单晶硅片放在基片架上；(3)在9.3×10-8Pa真空条件下，用电压为3KV、电流为130mA的溅射源离子束交替溅射钛、镍金属靶；(4)旋转四I位靶控制钛、镍金属的溅射时间；(5)同时用电压为20～30KV、电流为5mA的轰击源离子束辐射基片上的钛、镍原子沉积层，使其合金化。 | ||
| 地址 | 天津市卫津路94号 | ||