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发明名称 Katodenzerstäubungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE3937558(C2) 申请公布日期 1997.02.13
申请号 DE19893937558 申请日期 1989.11.11
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE 发明人 HARTIG, KLAUS, DR., 63549 RONNEBURG, DE;SEILER, REINER, 63454 HANAU, DE
分类号 C23C14/35;C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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