用来支撑基材的末端受动器组件

摘要

本发明提供一种用于基材输送机械臂上的末端受动器组件。在一实施例中，一用来在基材运送期间支撑一四边形基材的末端受动器组件包括一末端受动器，其具有一设置在第一端的内缘支撑件及一设置在远程的第一外缘支撑件。该末端受动器的第一端是被设计来耦合至一机械臂连杆。该第一内缘支撑件具有一个平行于且面向该第一外缘支撑件的面。边缘支撑件的结构将基材保持在该末端受动器上，借以让基材在运送期间的滑移减至最小。在另一实施例中，侧向导件可被用来进一步强化沿着开放在内缘及外缘支撑件间的基材边缘的基材捕捉性。

主权项

1.一种末端受动器组件，用以在基材输送期间支撑一四边形基材，该末端受动器组件至少包含：一末端受动器，具有一第一端与一远程，所述第一端用以耦接至一机械臂连杆；一间隔件组件，其耦合至该末端受动器的第一端；一内缘支撑件，其由所述间隔件组件连接至末端受动器的第一端且具有保持表面和有图案的支撑表面；及一外缘支撑件，其被设置在末端受动器的远程且具有多个级阶，其中每一级阶具有一垂直表面和一用以支撑该基材的有图案的水平表面，且其中外缘支撑件的每个垂直表面平行且面对于内缘支撑件的保持表面。