| 发明名称 | 光电模块的光辅助测试 | ||
| 摘要 | 本发明涉及光电模块的光辅助测试，并提供了一种用于测试光电模块(10)的设备(1)，所述设备包括用于生成电磁束或粒子束(15)的第一源(11)、用于照射光电模块(10)的第二源(12)和检测器(13)。还提供了一种用于测试光电模块(10)的方法，所述方法包括照射光电模块(10)、引导电磁束或粒子束(15)和检测光电模块(10)中的缺陷。通过除电磁束或粒子束(15)之外的照射，使在没有照射时无法检测的缺陷可见。 | ||
| 申请公布号 | CN101460857A | 申请公布日期 | 2009.06.17 |
| 申请号 | CN200780020797.X | 申请日期 | 2007.04.04 |
| 申请人 | 应用材料合资公司 | 发明人 | 伯恩哈德·冈特·米勒;拉尔夫·施密德;麦特瑟斯·波拉纳 |
| 分类号 | G01R31/305(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I;G02F1/13(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/305(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 李晓冬;南 霆 |
| 主权项 | 1. 一种用于测试光电模块(10)的设备，包括：a. 第一源(11)，其用于生成电磁束或粒子束(15)；b. 第二源(12)，其用于照射所述光电模块；以及c. 检测器(13；13a、13b、13c；13d、13e)。 | ||
| 地址 | 德国德累斯顿 | ||