| 摘要 |
공정챔버 세척방법의 일 실시예는, F(플로오르) 함유가스와 N가스가 설정된 비율로 혼합된 세척가스를 형성하는 세척가스형성단계; 상기 세척가스를 반응기로 유입하는 제1세척가스유입단계; 상기 세척가스에 전원을 인가하여 상기 세척가스의 적어도 일부를 플라즈마 상태로 변환하는 제1플라즈마형성단계; 상기 세척가스를 공정챔버로 유입하는 제2세척가스유입단계; 및 상기 공정챔버에 유입된 상기 세척가스가 상기 공정챔버 내부의 증착물을 식각하여 제거하는 세척단계를 포함할 수 있다. |
