| 发明名称 | 等离子处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明目的在于廉价地提供一种维护检修容易且能够稳定地供给等离子的内部天线方式的等离子处理装置。本发明的等离子处理装置具备在真空容器(11)的上壁(111)上设置多个的天线单元(20)，天线单元(20)具备：从真空容器(11)的上壁(111)向真空容器(11)内凸出地设置的电介质制的框体(21)；具有将框体内的气氛向真空容器的外部排出的第二气体排出口(25)的盖(22)；以及经由馈通体(24)而固定于盖(22)且在管壁上具有气体通过孔(232)的由导体管构成的高频天线(23)。向高频天线(23)的管内供给不活泼气体，通过气体通过孔(232)而将框体(21)的内部充满，通过第二气体排出口(25)向真空容器(11)的外部排出。 | ||
| 申请公布号 | CN103155718B | 申请公布日期 | 2016.09.28 |
| 申请号 | CN201080068816.8 | 申请日期 | 2010.09.06 |
| 申请人 | EMD株式会社 | 发明人 | 江部明宪;渡边正则 |
| 分类号 | H05H1/46(2006.01)I;C23C16/505(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I | 主分类号 | H05H1/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 袁伟东 |
| 主权项 | 一种等离子处理装置，其特征在于，具备：a)真空容器；b)在所述真空容器的壁设置的天线插入开口；c)以内部经由所述天线插入开口与所述真空容器的外部连通且该内部从该真空容器内的气氛隔离的方式设置于该真空容器内的电介质制的框体；d)将所述天线插入开口闭锁的盖；以及e)安装于所述盖，通过将该盖从所述真空容器的外侧向所述天线插入开口拆装，从而通过该天线插入开口能够从所述框体取出或放入，且设置成与所述框体不接触的、由具有包括U字形或“コ”字形的形状的线状导体构成的高频天线。 | ||
| 地址 | 日本国滋贺县 | ||