| 摘要 |
처리 챔버로 및 처리 챔버로부터 워크피스를 반입 및 반출하는 동작의 효율을 개선시킴으로써 워크피스 처리 효율이 향상되는 처리 장치 및 처리 방법이 제공된다. 처리 장치에는, 제 1 공급/배출구 및 제 2 공급/배출구를 가지는 처리 챔버 (10) 가 제공된다. 처리 장치에는, 또한 제 1 공급/배출구를 통해 워크피스 (30) 를 반입/반출하는 동작을 수행하는 제 1 반송 기구; 제 2 공급/배출구를 통해 워크피스 (30) 를 반입/반출하는 동작을 수행하는 제 2 반송 기구; 제 1 반송 기구에 의해 반입되어 처리된 워크피스 (30a) 를 제 2 반송 기구로 반송하고, 그리고 제 2 반송 기구에 의해 반입되어 처리된 워크피스 (32a) 를 제 1 반송 기구로 반송하는 교환 수단; 및 제 1 반송 기구 및 제 2 반송 기구를 구동하고, 미처리된 워크피스를 제 1 공급/배출구 및 제 2 공급/배출구로부터 처리 챔버로 교대로 공급하며, 워크피스를 처리하는 제어부 (22) 가 제공된다. |
