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经营范围
发明名称
用来移除液态感光材料之多步骤边缘珠状物移除制程
摘要
一种边缘珠状物移除(Edge Bead Removal;EBR)制程,包括提供具有特征层之晶圆,旋涂液态感光材料于特征层上,其中液态感光材料于特征层上具有边缘珠状物,然后藉由自边缘珠状物移除边缘凸块部分以及一边缘区,以自晶圆移除此边缘珠状物。
申请公布号
TW200601428
申请公布日期
2006.01.01
申请号
TW094103126
申请日期
2005.02.01
申请人
台湾积体电路制造股份有限公司
发明人
邱颂盛;吴明哲;洪诗蕾;黄清俊
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
蔡坤财
主权项
地址
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号
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