发明名称 用来移除液态感光材料之多步骤边缘珠状物移除制程
摘要 一种边缘珠状物移除(Edge Bead Removal;EBR)制程,包括提供具有特征层之晶圆,旋涂液态感光材料于特征层上,其中液态感光材料于特征层上具有边缘珠状物,然后藉由自边缘珠状物移除边缘凸块部分以及一边缘区,以自晶圆移除此边缘珠状物。
申请公布号 TW200601428 申请公布日期 2006.01.01
申请号 TW094103126 申请日期 2005.02.01
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 邱颂盛;吴明哲;洪诗蕾;黄清俊
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人 蔡坤财
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号