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发明名称 APPARATUS FOR DIVIDING DEVICES FORMED ON A SUBSTRATE INTO A PLURALITY OF INDIVIDUAL DEVICES
摘要
申请公布号 KR100541998(B1) 申请公布日期 2006.01.02
申请号 KR20040072620 申请日期 2004.09.10
申请人 LG ELECTRONICS INC. 发明人 TAK, YOON HEUNG;PARK, SE PYO;BAE, HYO DAE
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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