| 发明名称 |
SUPPLY METHOD FOR SOG LIQUID AND THIN-FILM FORMATION DEVICE USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0661220(A) |
申请公布日期 |
1994.03.04 |
| 申请号 |
JP19920211890 |
申请日期 |
1992.08.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI HIROSUKE;NUKUI TOSHIO |
| 分类号 |
B01J4/00;B05C11/08;B05C11/10;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
B01J4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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