| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCTION OF THIN FILM AND PRODUCTION METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06330292(A) |
申请公布日期 |
1994.11.29 |
| 申请号 |
JP19930122750 |
申请日期 |
1993.05.25 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
HONDA KAZUYOSHI;MAEZAWA KAJI |
| 分类号 |
C23C14/30;G11B5/85;H01F41/20;(IPC1-7):C23C14/30 |
主分类号 |
C23C14/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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