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发明名称 METHOD FOR ADDING IMPURE ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0748115(A) 申请公布日期 1995.02.21
申请号 JP19930194487 申请日期 1993.08.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 ODA MASASHI;HAYASHIBARA MITSUO
分类号 C01B33/06;H01L21/22;(IPC1-7):C01B33/06 主分类号 C01B33/06
代理机构 代理人
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