发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08330319(A) 申请公布日期 1996.12.13
申请号 JP19950133685 申请日期 1995.05.31
申请人 NEC CORP 发明人 OKAMOTO TETSUMASA
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/76;H01L27/08;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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