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发明名称 Katadioptrisches Abbildungssystem für ein breites Ultraviolett-Spektrum
摘要
申请公布号 DE19731291(A1) 申请公布日期 1998.01.29
申请号 DE1997131291 申请日期 1997.07.21
申请人 KLA INSTRUMENTS CORP., SAN JOSE, CALIF., US 发明人 SHAFER, DAVID R., FAIRFIELD, CONN., US;CHUANG, YUNG-HO, CUPERTINO, CALIF., US;TSAI, BIN-MING B., SARATOGA, CALIF., US
分类号 G01N21/33;G02B13/14;G02B17/08;G02B21/16;G03C5/16;G03F1/84;G03F3/00;G03F7/20;H04N5/225;(IPC1-7):G02B17/08 主分类号 G01N21/33
代理机构 代理人
主权项
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