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发明名称 INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 JPH1090113(A) 申请公布日期 1998.04.10
申请号 JP19960267813 申请日期 1996.09.18
申请人 SONY CORP 发明人 YAMAMOTO KENJI;ICHIMURA ISAO;MAEDA FUMISADA;WATANABE TOSHIO;OSATO KIYOSHI
分类号 G01B9/02;G01M11/00;(IPC1-7):G01M11/00 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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