发明名称 一种利用物理气相沉积铝改善2-钛铝介金属之高温耐氧化性
摘要 一种使α2-钛铝介金属表面产生连续TiAl3保护膜的方法,特别适用于改善α2-钛铝介金属高温氧化抵抗。根据此发明,α2-钛铝介金属可藉着物理气相沉积法如溅镀法、蒸镀法等,在表面镀上一层适当厚度之铝薄膜,再利用高真空热处理,使此铝薄膜变成TiAl3连续介金属膜,以改善其高温耐氧化性。此制程可应用于以α2-钛铝介金属为材料且需要在高温环境使用的元件,如涡轮引擎的叶片、汽车引擎排气阀及能源、航太工业用零件等。
申请公布号 TWI247818 申请公布日期 2006.01.21
申请号 TW092122670 申请日期 2003.08.15
申请人 国防部中山科学研究院 发明人 吴锡侃;朱闵圣;王建义;徐章铨
分类号 C23C14/14 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项 1.一种以物理气相沉积法改善2-钛铝介金属高温 耐氧化性的方法至少包含下列步骤: (1)提供2-钛铝介金属;及 (2)将上述2-钛铝介金属施以物理气相沉积法之 表面处理,以沉积适当厚度的铝薄膜于介金属表面 上;及 (3)对上述2-钛铝介金属施行真空热处理,使得其 表面形成一连续之TiAl3介金属层,以改善其高温抗 氧化。 2.如申请专利范围第1项所述之一种以物理气相沉 积法改善2-钛铝介金属高温耐氧化性的方法,其 中上述之2-钛铝介金属为2相的钛铝介金属或 富2相之钛铝介金属,其成分(原子比)介于Ti80Al20 到Ti60Al40之范围。 3.如申请专利范围第1项所述之一种以物理气相沉 积法改善2-钛铝介金属高温耐氧化性的方法,其 中物理气相沉积法包括溅镀法、蒸镀法及其他物 理气相沉积法之其中一种。 4.如申请专利范围第1项所述之一种以物理气相沉 积法改善2-钛铝介金属高温耐氧化性的方法,其 中铝镀层的铝可为纯铝,或为铝合金(其含铝量至 少在95%以上)之一种。 5.如申请专利范围第1项所述之一种以物理气相沉 积法改善2-钛铝介金属高温耐氧化性的方法,其 中铝镀层厚度范围为0.1m到20m。 6.如申请专利范围第1项所述之一种以物理气相沉 积法改善2-钛铝介金属高温耐氧化性的方法,其 中铝镀层厚度最佳厚度范围为3m到5m。 7.如申请专利范围第1项所述之一种以物理气相沉 积法改善2-钛铝介金属高温耐氧化性的方法,其 中真空热处理之温度范围在200℃~650℃之间,处理 时间范围为0.1小时以上。 8.如申请专利范围第1项所述之一种以物理气相沉 积法改善2-钛铝介金属高温耐氧化性的方法,最 佳真空热处理温度为600℃;最佳真空热处理时间为 24小时。 图式简单说明: 第一图为2-Ti3Al介金属经均质化热处理后的X光 绕射图形。 第二图为2-Ti3Al介金属表面经溅镀3m之铝镀层 的X光绕射图形。 第三图为在2-Ti3Al介金属表面溅镀沉积不同厚度 的铝镀层,再经过600℃高真空(3 x 10-7torr以下)扩散 热处理24小时后的X光绕射图形。 第四图为在2-Ti3Al介金属表面溅镀沉积不同厚度 的铝镀层后,再经过600℃高真空扩散热处理24小时 后,在高温800℃的空气中循环氧化80小时之后,其单 位面积的重量增加与高温氧化时间之关系图。 第五图为在2-Ti3Al介金属表面溅镀沉积不同厚度 的铝镀层后,再经过600℃高真空扩散热处理24小时 后,以热重分析仪(Thermogravitic Analysis, TGA)于800℃空 气中持温70小时后的分析结果。 第六图为在2-Ti3Al介金属表面溅镀沉积不同厚度 的铝镀层,再经过600℃高真空扩散热处理24小时后, 在高温800℃的空气中氧化80小时后的X光绕射图形 。
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