| 发明名称 |
Low dielectric constant layers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2393577(B) |
申请公布日期 |
2005.07.20 |
| 申请号 |
GB20040000229 |
申请日期 |
2002.07.15 |
| 申请人 |
* TRIKON HOLDINGS LIMITED |
发明人 |
KATHERINE * GILES |
| 分类号 |
H01L21/768;C23C16/40;C23C16/56;H01L21/316;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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