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VERFAHREN UND VORICHTUNG ZUR KONTROLLE DER SCHICHTDICKE
摘要
申请公布号
DE60319129(T2)
申请公布日期
2009.03.05
申请号
DE20036019129T
申请日期
2003.12.02
申请人
SINGULUS TECHNOLOGIES AG
发明人
OU-YANG, CHIEH
分类号
B05C1/08;B05C11/08;H01L21/00
主分类号
B05C1/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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