| 发明名称 | 改善光学系统成像特性的方法以及光学系统 | ||
| 摘要 | 描述一种改善光学系统(10)的成像特性的方法且也描述了具有改善的成像特性的该类型的光学系统(10)。所述光学系统(10)具有多个光学元件。为了至少部分地校正至少一成像像差，所述多个光学元件中的至少第一光学元件(42)是借助于机械力作用(72)以及热作用(76)来定位和/或变形的，或者所述至少第一光学元件(42)是借助于机械力作用(72)来定位和/或变形的以及所述多个光学元件的至少第二光学元件(46)是借助于热作用(78)来变形的。 | ||
| 申请公布号 | CN101589342A | 申请公布日期 | 2009.11.25 |
| 申请号 | CN200880002851.2 | 申请日期 | 2008.01.22 |
| 申请人 | 卡尔蔡司SMT股份公司 | 发明人 | 奥拉夫·康拉迪 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 邱 军 |
| 主权项 | 1、一种改善光学系统(10)的成像特性的方法，其中所述光学系统(10)具有多个光学元件，其中，为了至少部分校正至少一成像像差，所述多个光学元件中的至少第一光学元件(42)是借助于机械力作用(72)以及借助于热作用(76)来定位和/或变形的，或者所述至少第一光学元件(42)是借助于机械力作用(72)来定位和/或变形的以及所述多个光学元件中的至少第二光学元件(46)是借助于热作用(78)来变形的。 | ||
| 地址 | 德国上科亨 | ||