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전자 디바이스 제조 시스템은, 상이한 크기의 하나 또는 그 초과의 프로세스 챔버들이 커플링될 수 있는 메인프레임을 포함할 수 있다. 상이한 개수의 프로세스 챔버들은 메인프레임의 각각의 패싯(즉, 측벽)에 커플링될 수 있다. 하나의 패싯에 커플링된 프로세스 챔버들은다른 패싯들에 커플링된 프로세스 챔버들과 크기가 상이할 수 있다. 예를 들어, 제 1 크기의 하나의 프로세스 챔버는 제 1 패싯에 커플링될 수 있고, 각각, 제 1 크기와 상이한 제 2 크기인 2개의 프로세스 챔버들은 제 2 패싯에 커플링될 수 있으며, 각각, 제 1 크기 및 제 2 크기와 상이한 제 3 크기인 3개의 프로세스 챔버들은 제 3 패싯에 커플링될 수 있다. 다른 구성들이 가능하다. 메인프레임은 정사각형 또는 직사각형 형상을 가질 수 있다. 다른 양태들과 같이, 전자 디바이스 제조 시스템을 조립하는 방법들이 또한 제공된다. |
