发明名称 |
一种固晶机自动换片装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种固晶机自动换片装置,包括XY芯片平台、芯片料盒台和芯片夹取机构,所述XY芯片平台通过伺服电机驱动的丝杠导轨机构进行移动;所述芯片料盒台包括料盒和芯片架,所述料盒安装在芯片架上,芯片架上安装有料盒调节条;料盒通过步进电机A驱动滚珠丝杠B进行移动;所述芯片夹取机构包括操作平台,操作平台通过步进电机B驱动丝杠导轨机构进行移动。本实用新型设计合理,应用在半导体封装行业前端装配工序中芯片粘接工序的固晶机上,PLC为主控设备,通过计算机与PLC通讯设置参数,达到自动控制每个晶圆芯片自动换装,提高生产线的自动化程度,节约劳动力,降低人工成本,提高生产效率。 |
申请公布号 |
CN205508788U |
申请公布日期 |
2016.08.24 |
申请号 |
CN201620257274.3 |
申请日期 |
2016.03.29 |
申请人 |
佛山市施翔腾科技设备有限公司 |
发明人 |
倪凯;施文桦;戴晓清;赵骞;鲁信琼 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种固晶机自动换片装置,包括XY芯片平台、芯片料盒台和芯片夹取机构,其特征在于:所述XY芯片平台包括XY平台(1),所述XY平台(1)上方设有平台压模(3),平台压模(3)通过4个平台升降气缸(5)与XY平台(1)连接;XY平台(1)底部X方向和Y方向均设有滚珠丝杠A(7),两个滚珠丝杠A(7)的尾端均安装有伺服电机(2),伺服电机(2)驱动连接滚珠丝杠A(7);XY平台(1)下方设有直线导轨A(6),XY平台(1)与直线导轨A(6)滑动连接;所述芯片料盒台包括料盒(8)和芯片架,所述料盒(8)安装在芯片架上,料盒(8)底部设有料盒底板(10),芯片架上安装有料盒调节条;料盒(8)左侧设有滚珠丝杠B(13)和导向轴(14),料盒(8)左侧通过上下运行块(11)固定在滚珠丝杠B(13)和导向轴(14)上,滚珠丝杠B(13)与步进电机A(12)的传动轴连接,步进电机A(12)驱动连接滚珠丝杠B(13);所述芯片夹取机构包括操作平台(15),操作平台(15)左侧安装有步进电机B(17),步进电机B(17)驱动连接滚珠丝杠C(19),滚珠丝杠C(19)位于操作平台(15)上端;操作平台(15)上端铺设有直线导轨B(20),步进电机B(17)驱动连接直线导轨B(20),直线导轨B(20)上安装有伸缩用气缸(18),伸缩用气缸(18)与直线导轨B(20)滑动连接,伸缩用气缸(18)下端安装有芯片膜夹紧嘴(22);直线导轨B(20)上安装有感应器(21);操作平台(15)上设有指令操作装置(16)。 |
地址 |
510000 广东省佛山市顺德区陈村镇永兴居委会广隆工业园兴业8路9号之一 |