走査顕微鏡及び該走査顕微鏡のための音響光学メインビームスプリッタ

摘要

本発明は、走査顕微鏡のための音響光学メインビームスプリッタに関するものであり、この音響光学メインビームスプリッタは、事前に選択された又は事前に選択可能な照明光波長の照明光を、試料を照明するための照明光ビームパスに向け、且つ、試料から到来する検出光を検出光ビームパスに向けるように構成されており、またそのように動作する。この音響光学メインビームスプリッタは以下の特徴を備えている。つまり、音響光学メインビームスプリッタにおいて、照明光波長に対応付けられている音響周波数の１つの力学的な波が伝播されるか、又は、照明光波長に対応付けられており、且つ、同一の音響周波数を有している複数の力学的な波が伝播され、試料から到来する検出光束から、１つの力学的な波との相互作用によって、又は、複数の力学的な波との相互作用によって、検出光束の、第１の直線偏光方向及び照明光波長を有している成分も、検出光束の、第１の直線偏光方向に対して垂直な第２の直線偏光方向及び照明光波長を有している成分も偏向されて、前記検出光束から除去される、及び／又は、１つの力学的な波との相互作用によって、又は、複数の力学的な波との相互作用によって、第１の直線偏光方向及び事前に選択された照明光波長を有している照明光の成分も、第１の直線偏光方向とは異なる、特に第１の直線偏光方向に対して垂直な第２の直線偏光方向及び事前に選択された照明光波長を有している照明光の成分も、試料を照明するための照明光ビームパスへと向けられる。