炭化ケイ素前駆体からのバルクの炭化ケイ素の製造方法及び装置

摘要

炭化ケイ素の製造方法を開示する。当該方法は炉殻、炉殻の外側に配置された少なくとも一つの加熱素子、及び断熱材に囲まれた炉殻内部に配置されるホットゾーンを備えた昇華炉を提供する工程を含む。当該ホットゾーンは下部領域に炭化ケイ素前駆体が配置され、上部領域に炭化ケイ素シードが配置されたるつぼを含む。当該ホットゾーンは炭化ケイ素前駆体の昇華のために加熱され、炭化ケイ素シードの底面に炭化ケイ素を形成する。また、得られた炭化ケイ素材料、並びに炭化ケイ素を製造するための昇華炉も開示する。