发明名称 PROCEDE ET DISPOSITIF POUR LA FABRICATION DE SILICIUM POREUX.
摘要
申请公布号 FR2672157(B1) 申请公布日期 1993.05.28
申请号 FR19900015209 申请日期 1990.12.05
申请人 TELEMECANIQUE 发明人 LE BAIL LAURENT
分类号 C25D11/32;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 C25D11/32
代理机构 代理人
主权项
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