发明名称 PRODUCTION OF THIN FILM OF DIAMOND
摘要
申请公布号 JPH05330988(A) 申请公布日期 1993.12.14
申请号 JP19920139470 申请日期 1992.05.29
申请人 IDEMITSU PETROCHEM CO LTD 发明人 HOSOYA IKUO
分类号 B01J8/42;B01J19/08;C01B31/06;C30B29/04;(IPC1-7):C30B29/04 主分类号 B01J8/42
代理机构 代理人
主权项
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