发明名称 |
PRODUCTION OF THIN FILM OF DIAMOND |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH05330988(A) |
申请公布日期 |
1993.12.14 |
申请号 |
JP19920139470 |
申请日期 |
1992.05.29 |
申请人 |
IDEMITSU PETROCHEM CO LTD |
发明人 |
HOSOYA IKUO |
分类号 |
B01J8/42;B01J19/08;C01B31/06;C30B29/04;(IPC1-7):C30B29/04 |
主分类号 |
B01J8/42 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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