发明名称 |
PRODUCTION OF SYNTHETIC QUARTZ GLASS MEMBER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH05330830(A) |
申请公布日期 |
1993.12.14 |
申请号 |
JP19920160346 |
申请日期 |
1992.05.27 |
申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
TAKITA MASATOSHI;SAWADA KATSUYA;SHIROTA KAZUO;OTSUKA HISATOSHI |
分类号 |
C03B20/00;C03B8/04;C03B19/14;C03B37/014;(IPC1-7):C03B8/04 |
主分类号 |
C03B20/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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