发明名称 PRODUCTION OF SYNTHETIC QUARTZ GLASS MEMBER
摘要
申请公布号 JPH05330830(A) 申请公布日期 1993.12.14
申请号 JP19920160346 申请日期 1992.05.27
申请人 SHIN ETSU CHEM CO LTD 发明人 TAKITA MASATOSHI;SAWADA KATSUYA;SHIROTA KAZUO;OTSUKA HISATOSHI
分类号 C03B20/00;C03B8/04;C03B19/14;C03B37/014;(IPC1-7):C03B8/04 主分类号 C03B20/00
代理机构 代理人
主权项
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