| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06342772(A) |
申请公布日期 |
1994.12.13 |
| 申请号 |
JP19930131760 |
申请日期 |
1993.06.02 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD;MORI YUZO |
发明人 |
MORI YUZO;KIYAMA SEIICHI;SHINOHARA WATARU;DOMOTO YOICHI |
| 分类号 |
H01L21/302;B23H1/06;B81C99/00;C23F4/00;H01L21/3065;H01L29/41;H05H1/24;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/302;H01L29/44 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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