| 发明名称 |
A rapid thermal process for obtaining silica coatings |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0462715(B1) |
申请公布日期 |
1996.02.28 |
| 申请号 |
EP19910304930 |
申请日期 |
1991.05.31 |
| 申请人 |
DOW CORNING CORPORATION |
发明人 |
CHANDRA, GRISH;GENTLE, THERESA EILEEN |
| 分类号 |
C09D183/00;B05D3/06;C08J7/04;C09D183/02;C23C18/12;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/312;C04B41/50;H01L21/56;C08J3/28 |
主分类号 |
C09D183/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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