| 主权项 |
1.一种半导体制程废氢气高压放电处理反应器,其 系包含: 一进气口;一氢气燃烧室,该氢气燃烧室之一端连 接于该进气口之一端;一冷却装置,该冷却装置之 一端连接于该氢气燃烧室之另一端;及一出气口, 系连接于该冷却装置之另一端。 2.依据申请专利范围第1项所述之半导体制程废氢 气高压放电处理反应器,其中,该氢气燃烧室系包 含: 二送气口,分别设置于该氢气燃烧室之两侧;一进 水口及一出水口,分别设置于该氢气燃烧室之上、 下端面上;及一氢气点火燃烧装置,系设置于该氢 气燃烧室之前端,且相邻该进气口。 3.依据申请专利范围第1项所述之半导体制程废氢 气高压放电处理反应器,其中,该冷却装置系包含: 一冷却水出入口,系包含一进水口及一出水口,该 进水口及该出水口分别设置于该冷却装置之上、 下端面上;一冷却熄焰装置,该冷却熄焰装置之一 端连接于该氢气燃烧室之另一端。 4.依据申请专利范围第1项所述之半导体制程废氢 气高压放电处理反应器,其中,该半导体制程废氢 气高压放电处理反应器之氢气去除率为95%以上。 5.依据申请专利范围第1项所述之半导体制程废氢 气高压放电处理反应器,其中,该处理废气主要成 分为氢气与氮气,外界引入气体为空气。 6.依据申请专利范围第1项所述之半导体制程废氢 气高压放电处理反应器,其中,该进气口为一四孔 之法兰与一圆锥金属体一端相连之处。 7.依据申请专利范围第1项所述之半导体制程废氢 气高压放电处理反应器,其中,该氢气点火燃烧装 置为火星塞及高压交流电源供应器组成。 图式简单说明: 第1图,系本创作之半导体制程废氢气高压放电处 理反应器之立体模型图。 第2图,系本创作之半导体制程废氢气高压放电处 理反应器之系统装置示意图。 第3图,系本创作之半导体制程废氢气高压放电处 理反应器之剖面设计图。 第4图,系本创作之半导体制程废氢气高压放电处 理反应器之剖面图。 第5图,系本创作之氢气去除率与空气流量之关系 图。 |
