发明名称 SECONDARY CHARGED PARTICLE SENSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08321275(A) 申请公布日期 1996.12.03
申请号 JP19950269608 申请日期 1995.10.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 NOMURA SADAO
分类号 H01J37/147;H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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