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发明名称 CONTACT HOLE FORMATION OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH08330283(A) 申请公布日期 1996.12.13
申请号 JP19950159787 申请日期 1995.06.02
申请人 SONY CORP 发明人 SAWADA KEIJI
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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