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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Untersuchung einer Mehrzahl ähnlicher Prüflinge auf Lecks, bei welchem die Prüflinge zunächst mit Hilfer der Vorvakuumpumpe evakuiert werden (Evakuierbetrieb), und zwar auf einen Druck Pu, der so gewählt ist, dass nach dem Umschalten auf Messbetrieb der maximal zulässige Druck im Massenspektrometer (5) nicht überschritten wird, une danach durch Öffnen des zweiten Ventils (16) von Evakuierbetrieb auf Messbetrieb umgeschaltet wird; um die Evakuierungszeiten zu verkürzen, wird vorgeschlagen, dass zur Feststellung des optimalen Umschaltdruckes Pu opt ein Lernverfahren angewendet wird.
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