| 发明名称 |
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10144875(A) |
申请公布日期 |
1998.05.29 |
| 申请号 |
JP19960299160 |
申请日期 |
1996.11.12 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
KAWAHARA AKIFUMI;FUKUSHIMA TETSUYUKI |
| 分类号 |
H01L27/10;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/10;H01L21/824 |
主分类号 |
H01L27/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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