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经营范围
发明名称
RECOVERY OF Mo/Si MULTILAYER COATED OPTICAL SUBSTRATES
摘要
申请公布号
EP0894154(A1)
申请公布日期
1999.02.03
申请号
EP19970914770
申请日期
1997.02.21
申请人
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA
发明人
BAKER, SHERRY, L.;VERNON, STEPHEN, P.;STEARNS, DANIEL, G.
分类号
G02B5/26;C23F4/00;G02B1/10;G02B5/28;G03F7/20;(IPC1-7):C23C14/58
主分类号
G02B5/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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