发明名称 RECOVERY OF Mo/Si MULTILAYER COATED OPTICAL SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP0894154(A1) 申请公布日期 1999.02.03
申请号 EP19970914770 申请日期 1997.02.21
申请人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA 发明人 BAKER, SHERRY, L.;VERNON, STEPHEN, P.;STEARNS, DANIEL, G.
分类号 G02B5/26;C23F4/00;G02B1/10;G02B5/28;G03F7/20;(IPC1-7):C23C14/58 主分类号 G02B5/26
代理机构 代理人
主权项
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