| 发明名称 |
Fabricating plug and near-zero overlap interconnect line |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0848420(A3) |
申请公布日期 |
1999.02.03 |
| 申请号 |
EP19970309980 |
申请日期 |
1997.12.11 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
RAMASWAMI, SESHADRI;NULMAN, JAIM |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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