发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11102917(A) 申请公布日期 1999.04.13
申请号 JP19970260328 申请日期 1997.09.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 AIDA SATOSHI
分类号 H01L21/336;H01L29/06;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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