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发明名称 METHOD FOR MAKING A THIN FILM ON A SUPPORT
摘要
申请公布号 EP0950257(A2) 申请公布日期 1999.10.20
申请号 EP19970913241 申请日期 1997.11.04
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 ASPAR, BERNARD;BRUEL, MICHEL;BARGE, THIERRY
分类号 H01L21/265;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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